质量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精确控制气体质量流量的设备，MFC 既可应用于半导体前段制程，如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等设备中， 也在光伏能源、真空镀膜等领域有可观的市场。
MFC 可通过对气体流量的精准控制，有效地提供更高的良率。
经典三级视频在线观看 从不同方面考虑流量控制器
2021-03-11 标签：流量控制器
可以从五个方面进行考虑，这五个方面为
流量控制器
仪表性能方面、流体特性方面、安装条件方面、环境条件方面和经济因素方面。五个方面的详细因素如下：
1.仪表性能方面：准确度、重复性、线性度、范围度、流量范围、信号输出特性、响应时间、压力损失等；
2.流体特性方面：温度、压力、密度、粘度、化学腐蚀、磨蚀性、结垢、混相、相变、电导率、声速、导热系数、比热容，等熵指数；
3.安装条件方面：管道布置方向，流动方向，检测件上下游侧直管段长度、管道口径，维修空间、电源、接地、辅助设备(过滤器、消气器)、安装、等；
4.环境条件方面：环境温度、湿度、电磁干扰、安全性、防爆、管道振动等；
5.经济因素方面：仪表购置费、安装费、运行费、校验费、维修费、仪表使用寿命、备品备件等。
（二）流量控制器仪表选型的步骤：
1.依据流体种类及五个方面考虑因素初选可用仪表类型(要有几种类型以便进行选择)；
2.对初选类型进行资料及价格信息的收集，为深入的分析比较准备条件；
3.采用淘汰法逐步集中到1～2种类型，对五个方面因素要反复比较分析确定预选目标。
（三）流量控制器注意事项流体特性：主要指计量介质的压力、温度、密度、黏度、压缩性等，由于计量介质的体积随着温度、压力而变化，应考虑是否要补偿修正。仪表性能是指仪表的精度、重复性、线性度、量程比、压力损失、起始流量、输出信号及响应时间等，选流量控制器时应对上述指标进行仔细分析比较，选择能满足计量介质流量要求的仪表。
安装条件是指计量介质的流向、管道走向、上下游直管道长度、管径、空间位置及管件等，这些都会影响
流量控制器
的准确运行、维护保养和使用寿命。经济因素是指购置费、安装费、维护费、校验费及备品备件等，其又流量控制器的性能、可靠性、寿命等影响。
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