质量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精确控制气体质量流量的设备，MFC 既可应用于半导体前段制程，如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等设备中， 也在光伏能源、真空镀膜等领域有可观的市场。
MFC 可通过对气体流量的精准控制，有效地提供更高的良率。
经典三级视频在线观看 质量流量控制器的原理和结构
2021-03-11 标签：流量控制器
质量
流量控制器
工作原理和结构：
质量流量控制器传感器采用微机械加工技术，质量流量控制器实现微小流量测量，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
流量控制器工作原理：
质量流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等，分流器决定主通道的流量，图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图：
控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比，满量程检测输出电压为5VDC，气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50：1)，流量分辨率为0.1%满刻度。注意：气体质量流量控制器的“阀控“线置于“清洗“位时也可以当成气体质量流量计使用，这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量增大、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。
质量流量计和质量流量控制器结构：
质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。
产品特点：
·产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门
·微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升
·微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化
·单个芯片的**流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高
·机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠
·结构的优化，流量计的压力损失达到*小化
·采用国际*新的传感技术，使流量计工作更稳定、可靠
·开创零点自校功能，测量更准确
·多种气体实际标定，全量程补偿
·快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理
·规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定
·精度等级高，满足用户高精度测量要求
·独有的流量计报警功能，使监控更可靠
·操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数
·运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的优选
流量控制器
技术参数：
·测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
·测量管径：DN3，4，6，8，10
·流量范围：30，60，80，100，300，600，800，1000sccm；10，20，30，50，80，100SLPM
·流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
·工作温度范围：-25℃-55℃
·工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
·供电电源：24VDC±10%
·输出信号：4-20mA，RS485通讯
·环境温度：-25℃-55℃
·显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位
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