电子束曝光技术是在计算机控制下,按照加工要求的图形,利用聚焦后的电子束对基片上的抗蚀剂进行曝光,在抗蚀剂中产生具有不同溶解性能的区域,根据不同区域的溶解特性,利用具有选择性的显影剂进行显影,溶解性强的抗蚀剂部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下来,就可以得到所需要的抗蚀剂图形。正文编辑区域参考资料编辑区域
查看详情电子束曝光技术是在计算机控制下,按照加工要求的图形,利用聚焦后的电子束对基片上的抗蚀剂进行曝光,在抗蚀剂中产生具有不同溶解性能的区域,根据不同区域的溶解特性,利用具有选择性的显影剂进行显影,溶解性强的抗蚀剂部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下来,就可以得到所需要的抗蚀剂图形。正文编辑区域参考资料编辑区域
查看详情摘要 GASONICS/NOVELLUSPEPIRIDIADL二手刻蚀机现货制造商:GASONICS/NOVELLUS模型:PEPIRIDIADL类别:ETCHERS/ASHERS年份:2006年晶圆尺寸:8"设备详情:Stripper/Asher
在线询价摘要用于沉积纳米级薄膜、纳米粉末包覆、长深孔样品镀膜;具有Thermal-ALD、PEALD、Particle-ALD和生产型ALD;具备近100种膜层工艺。应用领域:芯片封装、半导体High-k介电层、纳米涂层、3D涂层、锂电池、催化剂、太阳能电池、5G通讯(SAW器件...
在线询价摘要Laser MBELaser MBE特点模块化概念,Laser MBE可以轻松升级到传输模块或其他模块UHV PLD主腔室、利用Load-lock实现衬底和靶材的UHV传输*的工艺自动化功能,可实现超晶格生长温度测量准确的耐氧衬底加热器,1000 ℃,也可以选配激光加...
在线询价摘要RIE反应离子刻蚀机NRE-3500(A)全自动RIE反应离子刻蚀机概述:独立式RIE反应离子刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持到...
在线询价摘要 专业的沉积设备制造商,为各个领域的客户提供完善的薄膜沉积解决方案:电子束蒸发系统、热蒸发系统、超高真空蒸发系统、分子束外延MBE、有机分子束沉积OMBD、等离子增强化学气相淀积系统PECVD/ICP Etcher、电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积、离子泵等。
在线询价摘要NRE-4000型RIE-PE刻蚀机:提供PC控制的PE刻蚀RIE刻蚀一体机,配套有淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品.具有不锈钢柜子以及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持Z大到12“的晶圆...
在线询价摘要NRE-3000型RIE-PE刻蚀机:PC控制的RIE刻蚀PE刻蚀系统,淋浴头气体分布装置以及水冷RF样品,不锈钢柜子及13“的上盖式圆柱形铝腔,便于晶圆片装载.腔体有两个端口:一个带有2“的视窗,另一个空置用于诊断.该系统可以支持Z大到12“的晶圆片。腔体为超净设计...
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