电子束曝光技术是在计算机控制下,按照加工要求的图形,利用聚焦后的电子束对基片上的抗蚀剂进行曝光,在抗蚀剂中产生具有不同溶解性能的区域,根据不同区域的溶解特性,利用具有选择性的显影剂进行显影,溶解性强的抗蚀剂部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下来,就可以得到所需要的抗蚀剂图形。正文编辑区域参考资料编辑区域
查看详情电子束曝光技术是在计算机控制下,按照加工要求的图形,利用聚焦后的电子束对基片上的抗蚀剂进行曝光,在抗蚀剂中产生具有不同溶解性能的区域,根据不同区域的溶解特性,利用具有选择性的显影剂进行显影,溶解性强的抗蚀剂部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下来,就可以得到所需要的抗蚀剂图形。正文编辑区域参考资料编辑区域
查看详情客服热线: 15267989561
加盟热线: 15267989561
媒体合作: 0571-87759945
投诉热线: 0571-87759942
下载仪表站APP
Ybzhan手机版
Ybzhan公众号
Ybzhan小程序