*供应FC-R7800CD质量流量计
FC-R7800系列不仅能提供高精度流量控制。
采用金属材质密封具备优异的低泄漏特性,可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE*电气信号可选方案,可方便对用户使用的质量流量控制器(MFC)进行替换,操作简单。
特点:
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用金属密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM-200SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答***的统一性,目前世界上有大约7万只在运行中的产品,内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉
◆方便的互换性
技术参数:
性能指标 |
FC-R7800CD/FC-R7800D系列 |
FC-R7810CD/FC-R7810D系列 |
FC-R7820CD/FC-R7820D系列 |
满量程范围 |
10Sccm-5Slm |
N/O:6-20slm* N/C:6-50slm** |
35-200Slm |
响应时间 |
满流量的±2%范围内,小于2秒 |
满流量的±2%范围内,小于3秒 |
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精度 |
≤±1%满量程 |
≤±2%满量程 |
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线性镀 |
≤满量程±0 5% |
≤满量程±0 5% #1 |
≤满量程±1% |
重复性 |
≤满量程±0.2% |
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泄漏率 |
1X10E-11 Pa.m ?/sec |
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控制范围 |
满流量的2%-5% #2 |
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压差 |
49Kpa-275Kpa |
69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa |
147Kpa-275Kpa |
正常工作压 力 |
490Kpa |
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进气压力 |
980Kpa |
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温度范围 |
5-45℃(41-113℉) |
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输入电源 |
+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA |
+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA |
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功率 |
3.1W max |
3.5W max |
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输入信号 |
0-5 VDC |
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输出型号 |
0-5 VDC |
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控制阀形式 |
常开或常闭电磁阀 |
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密封件 |
金属密封 |
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材质 |
316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶) |
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标准接口 |
1/4"VCR和Swagelok兼容 |
3/8"VCR,1/4"VCR |
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重量 |
1.0KG |
2.7KG |
#1满量程流量值大于30SLM线性度≤满量程±1%
#2满量程流量值大于150SLM控制范围为5%-***
#3满量程流量值大于150SLM压差范围为147-296Kpa