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椭偏仪

椭偏仪[1-2]是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。中文名椭偏仪特点测量精度高光谱范围深紫外的142nm到红外33um可选应用领域半导体、微电子、MEMS等1工作原理下图给出了椭偏仪的基本光学物理结构。已知入射光的偏振态,偏振光在样品表面被反射,测量得到反射光偏振态(幅度和相位),计算或拟合出材料的属性。入射光束(线偏振光)的电场可以在两个垂直平面上分解为矢量元

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椭偏仪

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  • ME-L 穆勒矩阵椭偏仪
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    摘要ME-L 穆勒矩阵椭偏仪概述ME-L 是一款科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪,凝聚了颐光科研团队在椭偏技术多年的投入,其采用行业前沿的创新技术,包括消色差补偿器、双旋转补偿器同步控制、穆勒矩阵数据分析等。可应用于各种各向同性/异性薄膜材料膜厚、光学纳米光栅常数以及一...

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  • SE-VM光谱椭偏仪
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    摘要 SE-VM光谱椭偏仪E-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量,支持多角度,微光斑,可视化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。

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  • SE-VE光谱椭偏仪
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    摘要 SE-VE光谱椭偏仪SE-VE是一款高性价比快速测量光谱椭偏仪。高性价比光学椭偏测量解决方案紧凑集成设计,使用简便,一键快速测量向导交互式人机界面,便捷的软件操作体验丰富的材料数据库和算法模型库。

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  • SE-L光谱椭偏仪
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    摘要 SE-L光谱椭偏仪SE-L是一款科研级全自动高精度快速光谱型椭偏仪,可通过椭偏参数、透射/反射率等参数的测量,实现光学薄膜和纳米结构的表征分析。适用于各向同性薄膜材料快速测量表征。

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  • SE-Mapping光谱椭偏仪
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    摘要SE-Mapping光谱椭偏仪概述SE-Mapping 光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块,通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表...

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  • 摘要 PMS 椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量产中所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜等质量控制需要,专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件,自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布。

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  • SE-PV光伏椭偏仪价格
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    摘要 SE-PV光伏椭偏仪价格产品概述SE-PV 是一款光伏行业领域型光谱椭偏仪,针对光伏行业绒面单晶硅或多晶硅太阳能电池表面减反膜测量定制开发,快速实现薄膜物性表征分析。

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  • SE-Glass 光谱椭偏仪价格
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    摘要 SE-Glass 光谱椭偏仪价格产品概述SE-Glass 是一款针对玻璃盖板行业定制的型光谱椭偏仪,针对玻璃盖板光学镀膜行业通过集成微光斑+可视化调平系统仪消除透明基底背反测量定制开发,快速实现玻璃盖板上多层薄膜物性表征分析。

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  • 摘要 全自动椭偏检测机台价格产品概述颐光科技全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台,通过整体高度模块化,电、气路集成技术,实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。

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  • 原位监测椭偏仪IMS型
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    摘要 原位监测椭偏仪IMS型是在科研级光谱椭偏仪的基础上,根据有机/无机镀膜工艺研究的需要研发的原位薄膜在线监测仪器,可用于金属薄膜、无机薄膜、有机薄膜的蒸镀、溅射等光学薄膜工艺过程的实时原位在线监测。

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  • 摘要 宽光谱成像光谱椭偏仪IE-L系列是结合单/双旋转补偿器椭偏调制技术和光学成像技术,实现对薄膜和纳米结构的实时可视化分析测量。可同时高横向分辨率的得到视场内样品上所有微区的椭偏参数。

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  • SE-L型自动光谱椭偏仪
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    摘要 自动光谱椭偏仪SE-L型是一款科研级全自动高精度光谱椭偏仪,集众多颐光科技技术于一体,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。

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  • 自动光谱椭偏仪SE-L型
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    摘要 自动光谱椭偏仪SE-L型是一款科研级全自动高精度光谱椭偏仪,集众多颐光科技技术于一体,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。

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  • 光谱椭偏仪SE-VE型
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    摘要光谱椭偏仪SE-VE型是一款高性价比快速测量光谱椭偏仪,可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。高性价比光学椭偏测量解决方案紧凑集成设计,使用简便,一键快速测量向导交互式人机界面,便捷的软件操...

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  • 光谱椭偏仪SE-VM型
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    摘要光谱椭偏仪SE-VM型是一款科研级高精度快速测量光谱椭偏仪,可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。高性价比光学椭偏测量解决方案紧凑集成设计,使用简便,一键快速测量向导交互式人机界面,便捷的软...

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  • 光谱椭偏仪Mapping系列
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    摘要 光谱椭偏仪Mapping系列是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,集众多颐光科技技术于一体,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。

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  • 摘要全自动Mapping光谱椭偏仪SE-100A是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,集众多颐光科技技术于一体,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量...

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  • 摘要 宽光谱穆勒矩阵椭偏仪ME-L型是一款科研级全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪,可通过反射/透射率、椭偏参数、穆勒矩阵和退偏指数等参数测量,实现各种光学薄膜和纳米结构的表征分析。

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  • 摘要 Radiation 全光谱反射仪

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  • 分光椭偏仪SEMILAB在线光

    分光椭偏仪SEMILAB在线光谱椭偏仪SE-3000
    在线光谱椭偏仪SE-3000,在线光谱椭偏仪μSE-2500,分光椭偏仪SE-2100 (旋转补偿器型),分光椭偏仪SE-2000 (旋转补偿器型),分光椭偏仪SE-2000 (旋转补偿器型),激光椭圆仪LE-5100
  • 教学激光椭偏仪

    BX-G105教学激光椭偏仪是基于消光法(或称“零椭偏”)测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。BX-G105仪器适用于纳米薄膜的厚度测量,以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。教学激光椭偏仪还可用于同时测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。
  • 纳米光伏专用激光椭偏仪

    BX-G104纳米光伏专用激光椭偏仪针对光伏太阳能电池推出的专用型多入射角激光椭偏仪。BX-G104用于测量绒面单晶硅或多晶硅太阳电池表面减反膜镀层的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可测量光滑平面材料上的单层或多层纳米薄膜的膜层厚度,以及在632.8nm下折射率n和消光系数k。 BX-G104融合多项量拓科技技术,采用单多晶一体化样品台技术,兼容测量单晶和多晶太阳电池样品,并实现二者的瞬间
  • 激光椭偏仪

    BX-G103激光椭偏仪可在单入射角度或多入射角度下对样品进行准确测量。可用于测量单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;也可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k;亦可用于实时测量纳米薄膜动态生长中膜层的厚度、折射率n和消光系数k。多入射角度设计实现了纳米薄膜的绝对厚度测量。
  • 紫外广义光谱椭偏仪

    BX-G102紫外广义光谱椭偏仪BX-G102紫外广义光谱椭偏仪针对科研和工业环境推出的高精度快速摄谱型广义光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。 广义光谱椭偏仪采用宽带超消色差补偿器、利用步进补偿器扫描测量采样模式、基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件,用于测量纳米薄膜样品、块状材料和各向异性材料。
  • 高精度灵敏光谱椭偏仪

    BX-G101高精度灵敏光谱椭偏仪针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。 光谱椭偏仪基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件,用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参数(如,折射率n、消光系数k,或介电函数ε1和ε2),也可用于测量块状材料的光学性质。
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