热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。
一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。
根据热效应的金氏，加热功率P、温度差△T(TRH-TRMG)与质量流量Q有确定的数学关系式。 P/△T=K1+K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是与气体物理性质有关的常数。
热式气体质量流量计*的温度差测量方式克服了采用恒温差原理的热式气体质量流量计测量煤气流量时因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的点漂移，导致无法测量的弊端。
它也可以用于测量湿气体的质量流量，如矿井下瓦斯抽放、送风，排风系统中的风量(速)的实时检测。
热式气体质量流量计安装方便，维修简单双向检测，防振动；多至8点流量测量；输出的校正多点非线性曲线修正
