美国Brooks质量流量控制器 Brooks 5850E质量流量控制器
布鲁克斯®5850e质量流量控制器准确地测量和控制气体流量。该系统是可移动的流量传感器产生的电输出信号的非线性的流量用于指示，记录，和/或控制的目的。它不需要连续监测气体压力提供一个稳定的气体调整flow.流。
美国Brooks质量流量控制器 Brooks 5850E质量流量控制器DESIGN FEATURES设计特点：
• Easy maintenance
•易于维护
• Fast flow response to command changes
•快速流指令变化的响应
• Negligible flow overshoot/undershoot
•忽略不计流量过冲/下冲
• Removable sensor
•移动传感器
• Insensitive to mounting attitude
•不敏感的安装姿态
• Wide flow range (up to 30 slpm N2)
•流量范围宽（可达30 SLPM N2）
• End accessible zero and span potentiometers
•端接近零点和量程电位器
• Jumper selectable soft start
•跳线可选的软启动
• Electrically activated valve override
•电动阀重写
• Jumper selectable external valve control
•跳线可选的外部控制阀
• Low command flow cutoff
•低命令流截止
• Normally closed valve (normally open valve optional)
•常闭阀（常开阀可选）
• Mechanically and electrically compatible with other
•机械和其他电兼容mass flow controllers质量流量控制器
• Corrosion resistant valve
•耐腐蚀阀门
美国Brooks质量流量控制器 Brooks 5850E质量流量控制器操作原理：
布鲁克斯的质量流量控制器的工作原理热力学。精密电源指示热的传感器管承载的中点的流量恒定百分比。在同一管的热输入等距的上游和下游正电阻温度测量元件。没有流量，热量达到每个温度元件是平等的。随着流量的增加，流量流 T1 and把热量从上游元件，T1和越来越多的向下游网元，T2. 。增加的温度差异发展这两个元素之间的这种差异对气体流动或量的比例流量。桥式电路对温度差放大器提供输出到.控制电路以及0~5伏直流电输出信号。控制电路比较指令设定对流量信号和位置精度螺线管2%控制阀。当命令信号低于2%全量表，控制阀的定位是充分封闭的。控制阀可以保持全开或由阀覆盖电路激活关闭。
