电子级HF(EL-HF)超纯产品分析简介

一、概述

        高HF英文名 hydrofluoric acid，分子式 HF，分子量 20.01。为无色透明液体，相对密度 1.15～1.18，沸点 112.2℃，在空气中发烟，有刺激性气味，剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性*，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。

        高HF为强酸性清洗、腐蚀剂，可与冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，主要应用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前，在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业，其它方面用量较少。

二、工艺简述

        目前国内外制备高HF的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。因此，选择工艺技术路线时应视实际情况而定。另外，由于HF具有强腐蚀性，采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

        高HF生产装置流程布置要以垂直流向为主，原料无水HF和高纯水在上层，HF的提纯在中层，过滤、包装及储存在底层。因为原料（无水HF和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，避免用泵输送，节省能耗，降低生产成本。下面介绍一种精馏、吸收相结合的生产高HF的生产工艺。

        将无水HF经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽，再通过流量计控制进入精馏塔，通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体，并将其送入吸收塔，精馏塔残液定期排放并制成工业级HF。在吸收塔中，通过加入经过计量后的高纯水，使精馏后的氟化氢气形成高HF，并且可采用控制喷淋密度、气液比等方法使高HF进一步纯化，得到粗产品。随后再经过超净过滤工序，使产品进一步混合和得到过滤，保证产品的颗粒合格。净化室内进行包装得到终产品——高HF

三、高纯水

        高纯水是生产高HF中*的原料，也是包装容器的清洗剂，其纯度将直接影响到高HF的产品质量。高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒，其它辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。目前，高纯水的生产工艺较为成熟，较常见是先通过离子交换柱和微过滤器，得到普通纯水，然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理，配合超微过滤便可得到高纯水。

四、包装

        高HF具有强腐蚀性，而且由于在IC制作行业使用质量要求较高，所以对包装技术的要求较为严格。首先，包装容器必须具有防腐蚀性，其次要防止产品出现二次污染。目前广泛使用的材料是高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)。

五、环境

        厂房、分析室、仓库等环境是封闭的，而且要达到一定的洁净度，一般为10000级（随HF产品等级而提高）；还要保持一定的温度（22.2±2.5℃，具体操作部位控制在22.2±0.11℃）、湿度(40%左右，不得低于30%，不得高于50%)。

六、在线分析仪

六、在线浓度分析仪
E-Scan系列电子级HF在线浓度仪采用临界角检测原理，检测不受物料的颜色，浑浊度，气泡，固体颗粒等杂质的影响、具备高精度的自动温度补偿功能。采用优秀的分体式体式，全屏蔽抗干扰设计，光电信号直接转换处理。摒弃一体式不耐振动和高温的影响的缺点，保障了在线测量的精度及延长仪器使用寿命。内置光纤光路传导系统，拥有优秀的抗震性能和高稳定性、内置温度传感器和干燥剂有效监测糖度仪的运行状态。

E-Scan系列电子级HF在线浓度仪可以安装在不同管径的管道或者罐体容器壁上，进行浓度监测和控制，可以直接显示质量*（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用户自定义的单位，现场显示并可以模拟信号（RS232)远传至电脑进行即时数据存储、打印、追溯等功能；通过4-20mA信号远传至PLC/DCS /变频器进行监控或控制。

E-Scan系列电子级HF在线浓度仪拥有以下特征：
PTFE材质的传感器使其满足化工、半导体行业的要求并且耐温高达150℃；
免维护、无耗材、无漂移、自诊断功能，智能报警信号输出功能；
防护等级：NEMA4X(IP67）；
自动温度补偿（软件拥有丰富的产品线性数据库和温度补偿数据库）；
多组4-20mA模拟信号及数字信号输出（隔离，非隔离可选）；
3648高分辨率的CCD；
多种报警信息输出显示（高低/高高/低低/偏差）；
可循环的干燥剂，无耗材，免维护；
光源为589 nm LED灯，寿命长达100000小时；
安装适配器标准:PTFE,Teflon；
高精度，高品质“美国制造”