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电子湿化学品-电子级盐酸

时间:2020-12-6阅读:2459

电子级盐酸

英文名:Hydrochloric Acid,分子式HCl,相对分子质量36.46。盐酸是氢氯酸的俗称,是氯化氢(HCl)气体的水溶液,为无色透明的一元强酸。盐酸为不同浓度的氯化氢水溶液,呈透明无色或黄色,有刺激性气味和强腐蚀性,易溶于水、乙醇和油等。浓盐酸为含38%氯化氢的水溶液,相对密度1.19,熔点-112℃,沸点-83.7℃。3.6%的盐酸,pH值为0.1。盐酸具有*的挥发性,因此打开盛有浓盐酸的容器后能在其上方看到白雾,实际为氯化氢挥发后与空气中的水蒸气结合产生的盐酸小液滴。

在集成电路制作过程中,基片表面的金属杂质可能会扩散进入基片,导致器件的性能下降和成品率的降低。因此在沉积金属前,确保基片表面没有金属杂质是极为重要的。因为盐酸能和大多数金属反应形成水溶性的盐,然后被水清洗去除,所以使用高纯盐酸进行清洗可有效降低金属杂质。除此之外,在太阳能电池生产过程中,单晶硅和多晶硅也都会采用盐酸和HF的混合液进行清洗。

EL: 单项金属杂质含量≤100ppb,颗粒(≥0.5um)≤100EA/ml
MOS:单项金属杂质含量≤50ppb,颗粒(≥0.5um)≤50EA/ml
UP: 单项金属杂质含量≤10ppb,颗粒(≥0.5um)≤25EA/ml

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