真空矩形传输阀Rectangular Transfer Valve是一种用于高真空环境的精密阀门设备，主要用于在真空系统中实现物料或样品的传递。该阀门具有高频率启闭、低漏率和高耐压等特点，广泛应用于半导体、光伏、科研等领域，是真空传输系统中的关键组件。

矩形阀根据其运动轨迹的不同，主要可以分为直线运动型（I和L型）和旋转运动型（J型）两大类。每种运动轨迹都有其dute的优势，用户可以根据具体的应用需求和系统配置来选择合适的类型。

1.I-motion矩形传输阀

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上升 ↑ │    │ ↑ ▲阀板垂直运动

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运动特征：阀板严格沿垂直方向上下移动（部分阀门设计时有一定倾斜角度），闭合时直接压紧。（类似字母"I"的垂直轨迹）

特点 ：结构简单，启闭速度快，维护便捷，低振动，密封面摩擦小，减少O-ring摩擦粉尘可能性，保证真空度，但由于阀门不提供横向水平的密封力，不适用于超高压差环境。

2. L-motion矩形传输阀

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  │ 阀板          → ▲先垂直上升再水平平移

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运动特征 ：阀板先垂直上升，运送阀板至阀门光学关闭位置，再水平方向运动，将阀板抵紧在阀门开口处，并持续施加载荷以使阀门完成密封。（运动轨迹类似字母"L"）

特点 ：阀板运动平稳，水平方向能提供一定的密封力，密封性能好。减少O-ring密封面的摩擦以减少粉尘，适用于大尺寸通径，能够处理较大的物料或样品，但需要多轴驱动机构，启闭时间相对较长，成本和维护复杂度较高。

3. J-motion矩形传输阀

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  │ 阀板          ⤸ ▲阀板沿弧形摆动上升

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运动特征 ：凸轮摇臂式结构，阀板沿弧形轨迹运动，通过旋转或摆动实现启闭（类似字母"J"的尾部弧线）。

特点 ：结构简单，运动轨迹优化，占用空间小，工艺较为成熟，密封性能好，低漏率，但阀板旋转时会与O-ring形成切向摩擦，可能造成磨损。