MAXTEK晶体膜厚控制仪主要特点:
1)信息直观——4色LCD大屏幕液晶显示器,可实时显示图表及各种重要信息,并可以通过按键在图表界面和状态界面间随时地进行切换。
2)操作简便——直观的菜单模式,32种预置的材料数据库以及alpha数字键区,zui大程度地方便了用户的操作和使用。
3)功能强大——zui大可扩展到四路探头输入,储存多达99种工艺过程,999种定义膜层和32种预置的材料数据库。
4)自动控制——自动切换晶片,当晶片失效时,自动暂停或中断电源;恢复正常后,可连续运行,不需要从头开始。
5)个性设置——可修改纯粹用数字和编码命名的输入/输出信息、控制程序和材料名称,使其易于辨认,避免混淆。
6)安全可靠——人性化的声音提示和报警系统,音量大小可调节。