压电偏摆 / 旋转台系列

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压电偏摆 / 旋转台

压电偏摆 / 旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，确保了产品具有较高的偏转精度和稳定性，且响应速度快，非常适于激光光束扫描以及激光合束等光路调整应用。
S20 系列压电旋转台

S20 系列压电旋转台为一维 θz 旋转台，中心通孔孔径为20mm，体积小巧结构紧凑，旋转角度可达 0.5mrad，承载能力达4kg。
S21.R3S/K 压电旋转台

S21.R3S 压电旋转台是一维 θz 运动的压电纳米定位台，它的外形结构紧凑，非常易于集成。
S21.R7S/K 压电旋转台

S21 系列压电旋转台为一维 θz 旋转台，产品体积小巧，旋转角度可达 7.5mrad，承载能力达 0.1kg，可带载镜片等做精密旋转运动。
S50.U0C/K 系列压电偏摆台

S50.U0C/K 系列压电偏摆台，是一维 θx 偏转台，它是专为大负载应用而设计，如模拟空间扰动应用。

S50.U0C/K 系列压电偏摆台的负载方式是侧卧式，它的负载能力达7kg，100V 驱动电压下的偏转角度为 0.19mrad，对应的闭环阶跃时间为 17ms。
S50.U0C/K-D1 系列压电偏摆台

S50.U0C/K-D1 系列为一维 θx 轴偏摆的压电偏摆台，它的承载能力可达 60kg，偏转角度为 ±0.25mrad。它采用电容式闭环传感器，分辨率可达 10nrad，并可在 20kg 载荷下高频率工作。它非常适于大负载偏摆运动实验，如空间扰动模拟等。
S50.UR0C/K 系列压电偏摆 / 旋转台

S50.UR0C/K 系列为 θx、θz 轴偏摆 / 旋转台，承载能力可达 40kg，偏转角度 ±0.25mrad。可带载 20kg 负载高频率使用。产品主要应用于大负载偏摆 / 旋转运动实验，例如模拟空间扰动实验等。
S50.UR0C/KA 系列压电偏摆台

S50.UR0C/KA 系列压电偏摆台是专为大负载应用而设计，承载可达 5kg。它的闭环版本是采用电容式反馈传感器，空载谐振频率可达 1kHz。
S51.ZT0S/K-B 系列压电偏摆台

S51.ZT0S/K-B 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动，中心具有大型通孔，适于透射光等应用。
S51 系列压电偏摆 / 升降台

S51 系列是具有中心通孔的三维 θxθy 及 Z 轴运动的压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。
S51.ZT2S/K-C1 系列压电偏摆台

S51.ZT2S/K-C1 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生θx、θy两轴偏转及Z向直线运动，中心具有大型通孔，适用透射光等应用。
S54.T0S/K-B 系列压电偏摆台

S54.T0S/K-B 系列是客户定制版压电偏摆台，可实现 θx、θy 二维偏摆运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高。结构紧凑，搭配大中心通孔设计，易于集成在显微及扫描等光学系统中。
S54.T0S/K-C 系列压电偏摆台

S54.T0S/K-C 系列压电偏摆台，可实现 θx、θy 二维偏摆运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高。承载上限可达 8kg，适合大负载应用。中心通孔达 200mm×200mm，适用透射光等应用。
S54.T2 系列压电偏摆台

S54.T2 系列是具有中心通孔的二维 θxθy 轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm 中心通孔使其易于集成在显微及扫描等光学系统中。
H60 系列六自由度并联机构

H60 系列六自由度并联机构，是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六轴运动工作台，通过六支压电促动器的并联协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度更高，适用于六自由度微操作、微电子精密加工、检测等应用。
H61.XYZTR0 六轴压电偏摆台

H61.XYZTR0 压电偏摆台可产生六轴的超精密运动，适用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转，中心具有50mm×50mm 的通孔，适于透射光应用。
XD500.T0S/K-B 压电偏摆台

XD500.T0S/K-B 压电偏摆台为 θx、θy 二维偏转的压电偏摆台，它的承载能力达 10kg，是专为大负载偏转应用而设计。
XD500.T4 系列压电偏摆台

XD500.T4 压电偏摆台是二维偏摆的运动平台，它的承载能力可达 1kg，大型移动台面，适用于大型反射镜的安装及偏转调节。
XD502 系列压电偏摆台

XD502.ZT2S/K-B 系列压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动。它的承载能力可达5kg，闭环重复定位精度可达 0.006%F.S.，适用于各种高精度应用领域。同时中心具有 55×55mm^2 的通孔，适用于透射光应用。
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