序号
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校准项目
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主要校准设备
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1
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外观及性能
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目视
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2
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检定仪平台表面粗糙度
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表面粗糙度比较样块
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3
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检定仪平台直线度
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分辨力0.01mm
/
m
的电子水平仪或
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4
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示值误差
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玻璃线纹尺
U
95
=(1.4+1.4
L
)
μm
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5
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重复性
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玻璃线纹尺
U
95
=(1.4+1.4
L
)
μm
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