磁控溅射仪带水冷 KT-Z1650PVD 离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。
* 外形小巧方便移动
* 触摸屏控制，工艺记忆储存方便镀相同样品
* 自动化电动挡板，能自动打开关闭，保证镀样时间和保护样品
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石英＋不锈钢腔体，方便观察和清洗
磁控溅射仪带水冷
KT-Z1650PVD厂家供应
技术参数；
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控制方式 |
7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
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溅射电源 |
直流溅射电源 |
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镀膜功能 |
0-999 秒 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
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输出电压电流 |
电压 ≤1000V 电流 ≤1A |
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真空 |
机械泵 ≤5Pa （ 5 分钟） 分子泵 ≤5*10^-3Pa |
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溅射真空 |
≤30Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英 + 不锈钢腔体 φ160mm x 170mm |
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样品台 |
可旋转 φ62 （可安装 φ50 基底） |
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样品台转速 |
8 转 / 分钟 |
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样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
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真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围 10E5Pa 1E-1Pa ） |
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预留真空接口 |
KF25 抽气口 KF16 放气口 6mm 卡套进气口 |
