TOKYOKEISO东京计装集成流量控制器CLFC300系列
集成流量控制器CLFC300系列，分体式流量控制器FC6000
TOKYOKEISO 东京计装 集成流量控制器 CLFC300 系列
TOKYOKEISO东京计装 集成流量控制器 CLFC300系列
集成流量控制器 CLFC300 系列 ，分体式流量控制器 FC6000
产品介绍
CLFC300
系列是集超声波流量计检测器、控制阀、流量计算、阀门控制电路为一体的流量控制器。
搭载了可以跟随目标流量的控制功能，用于控制半导体设备所需的各种液体，如化学液体的恒定供应、
DIW
流量控制、浆料流体的定值控制
.
特征
改进的可控性
改进了传统的运算处理，提高了抗气泡性。
流量测量的稳定性也得到了提高。
改进的可控性
在阶跃响应性能方面，的运算电路实现了极快的响应，实现了对设定值 1.5 秒以内的控制速度。
提供 2 种阀门类型
我们有用于化学液体和
DIW
的针阀，以及用于浆液的夹管阀。
STA-PURE Style Pcs (STA-PURE)
管已新添加到夹管类型中。
Stapure
管非常耐用，无需定期更换管。
小巧轻便
超声波流量计检测器、控制阀和电路部分都装在一个小机箱内，安装在设备内部时可节省空间。
结构经过重新设计，使传统产品更加紧凑。（下降
20%
）
重量也随着小型化而减轻。（下降
35%
）
减少接线和管道
安装时只需连接进出液接头，用多芯电缆进行电气布线即可，无需复杂的配管和布线。
环保
减少电流消耗。（实际值减少
35%
）
由符合
RoHS
标准的部件构成。
高耐腐蚀性
PFA
和
PTFE
是极耐腐蚀的材料，用于接液部件，可应用于处理半导体和化学品的各种行业。
PVDF
也用于表壳材料。
EMC 合规性
EN61326-1:2006
主要用途
设置化学品和去离子水的供应流量
通过将 CLFC300 安装在由计量泵和罐加压控制的各种化学液体和 DIW 供应管线中，可以高精度和稳定地控制液体供应量。
浓度控制
通过用纯水等稀释药液来控制恒定浓度时，在药液和纯水管路中安装 CLFC300 可以实现先进的浓度控制和浓度管理。
浆液稳定供应
通过将 CLFC300 安装在 CMP 设备的各种浆料供应管线中，可以稳定地以恒定速率供应浆料，并且可以防止所用液体的浪费。
FC6000
是采用高精度超声波流量计作为流量传感器的分体式流量控制系统。
流量控制器
FCA6000
系列内置超声波流量计转换器，通过组合流量传感器和控制阀可以构成紧凑的系统。
·控制阀：
FCV
系列
·超声波流量计检测器：
UCUF
系列
·流量控制器：
FCA6000
系列
流量传感器和控制阀种类齐全，可实现广泛的流量控制。此外，通过将过程连接的流量传感器
/
控制阀与测量
/
控制部分分开，提高了安全性并且可以进行自由布局。
它是包括半导体工艺在内的各种化学品的高级流量控制的理想选择。
特征
提高气泡阻力和流量测量稳定性
当液体中含有气泡时，超声波的接收灵敏度会降低，这使得普通超声波流量计的流量测量变得困难。 FCA6000 系列通过使用经过验证的原始信号处理技术，即使在灵敏度降低的情况下也可以进行流量测量。并且根据丰富的现场经验，对异常输出进行判别和排除，大大提高了抗气泡性能。它还提高了流量测量的稳定性。
提高安全性，可以自由布局
将流量传感器 / 控制阀与过程连接的测量控制部分分开，提高了防止液体泄漏等的安全性，并且可以自由选择布局。
可进行大范围的流量控制
FCA6000 系列可以处理从最小 2.5-25 mL/min 到 1-10 L/min 的流速。
低功耗
与传统转换器相比， FCA6000 系列降低了功耗。
CE 标志
符合欧盟
EMC
、
RoHS2
和低电压指令
（
EMC
合规标准：
EN61326-1:2013
、
EN61326-2-3:2013
）
高耐腐蚀性
UCUF
系列的接液部分使用具有耐腐蚀性的
PFA
和
PTFE
，
可应用于处理半导体和化学品的各种行业。
