概要
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。
特征
- 可对应±0.5%F.S.:SEC-405(气体种类限定)
- 同系列产品,从0.1CCM至200SLM(N 2 )都可进行流量控制
- 实现面间距离106mm: SEC-300型式
规格
SEC-310 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开; NC: 非通电时:关闭 |
标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
流量控制范围 |
2?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(满量程) |
SEC-320 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
流量控制范围 |
2?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-405 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8 |
流量控制范围 |
2?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±0.5% F.S.(满量程) |
SEC-410 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭 |
标准流量量程 |
10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(满量程) |
SEC-510 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭 |
标准流量量程 |
10/20 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(满量程) |
SEC-510A |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭 |
标准流量量程 |
30/50 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(满量程) |
SEC-520A |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
30/50 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-551 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 ;NC: 非通电时:关闭 |
标准流量量程 |
30/50/100 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(满量程) |
SEC-552 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、バイトン |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
30/50/100 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-610 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
50/100/150 SLM |
流量控制范围 |
10?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±1.0% F.S.(满量程) |
SEC-620 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
50/100/150 SLM |
流量控制范围 |
10?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-623 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
150/200 SLM (H2:300 SLM) |
流量控制范围 |
10?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-400MK2 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-500MK2 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
10/20 SLM |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-400MK3 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |
SEC-500MK3 |
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气体接触部材质 |
SUS-316、氟化橡胶 |
阀门类型 |
NO: 非通电时:开 |
标准流量量程 |
10/20 SLM :空气.N2.O2.Ar.H2.He |
流量控制范围 |
5?100% F.S.(满量程) |
流量精度 |
±2.0% F.S.(满量程) |