HORIBA S48-32/HMT气体质量流量控制器
?可以任意角度安装
?良好的线性——多段线性补偿
?快速的响应
?电磁阀使用寿命≥100万次
?对零点漂移有效的控制
?良好的选择性
?化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口
HORIBA METRON质量流量计/控制器
流量规格（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/m
- S48 32/HMT质量流量控制器
- 可以任意角度安装
- 良好的线性——多段线性补偿
- 快速的响应
- 电磁阀使用寿命≥100万次
- 对零点漂移有效的控制
- 良好的选择性
- 化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口
S48 32/HMT
HORIBA S48-32/HMT气体质量流量控制器
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编号 |
项目 |
S48 32/HMT |
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1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
安装角度 |
任意 |
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5 |
流量控制范围 |
2%～ |
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6 |
流量测量范围 |
0～ |
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7 |
响应时间 |
2s（T98，设定值的±2% F.S.） |
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8 |
工作环境温度 |
5℃～50℃ |
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9 |
精度保证温度 |
15℃～35℃ |
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10 |
精度 |
±1.0%F.S. |
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11 |
线性精度 |
±0.5%F.S. |
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12 |
重复性 |
±0.2%F.S. |
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13 |
工作压差 |
～5L/min (50～300)kPa(D) |
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14 |
耐压 |
3MPa |
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15 |
泄漏率 |
1×10-8 Pa•m3/s （He） |
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16 |
接触气体材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡胶 |
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17 |
管路接头 |
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
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18 |
供电电源 |
±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA |
+24VDC(宽电压+11～+25V), |
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19 |
设定信号 |
(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ |
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
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20 |
流量输出信号 |
(0～5)VDC 负载能力≤3mA |
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21 |
电气接头 |
D-SUB15,D-SUB9 |
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22 |
重量(kg) |
0.9 |
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HORIBA METRON质量流量计/控制器
S48 32/HMT 安装尺寸图：
- HORIBA S48-32/HMT气体质量流量控制器
