技术数据
圆度偏差(µm+µm/mm 测量高度)* |
0,015 + 0,0003 |
圆度偏差(µm+µm/mm 测量高度)** |
0,03 + 0,0006 |
轴向跳动偏差(µm+µm/mm 测量半径)* |
0,02 + 0,0001 |
轴向跳动偏差(µm+µm/mm 测量半径)** |
0,04 + 0,0006 |
调心调平工作台 |
手动 |
工作台直径 (mm) |
160 |
工作台负载,居中 (N) |
200 |
速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz |
0.2-15 |
测量路径,机动 (mm),Z 轴 |
250 |
直线度偏差/100 mm 测量路径 (µm)**,Z 轴 |
0.15 |
直线度偏差/总测量路径 (µm)**,Z 轴 |
0.3 |
跟踪方向的平行度偏差 Z-/C-轴 (µm) |
0.5 |
测量速度 (mm/s),Z 轴 |
0.5-30 |
定位速度 (mm/s),Z 轴 |
0,5-100 |
定位路径 (mm),X 轴 |
150,机动 |
定位速度 (mm/s),X 轴 |
0,5-30 |