椭偏仪
是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学
测量仪器
。由于
测量精度
高，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空等，适用
于超
薄膜层测量。
适用于半导体、
介电材料
、有机
高分子聚合物
、
金属氧化物
、
金属钝化
膜、
自组装
单分子层、
多层膜
物质和
石墨烯
等材料。
广泛应用于
半导体
、
微电子
、
MEMS
、通讯、
数据存储
、
光学镀膜
、
平板显示器
、太阳能光伏、科学研究、物理、化学、生物、医药等行业领域。
