GSL-1100X-SPC-16M
是一款紧凑型的磁控等离子溅射仪,采用双旋片机械泵进行抽真空。
一个磁控管与
Peltier
冷却装置安装在机器的顶部,
,这将提供强有力的溅射能源,产生更好和更快的涂层,
特别适用于金属靶材
,
比如铝,锌和镁
.
仪器中包含一个金靶和真空系统。
技术参数
工作电压 |
110V or 220V 50/60 Hz |
输出功率 |
< 2000W ( 包含真空泵 ) |
输出电压 |
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样品室 |
石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height
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样品载物台 |
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可通入气体 |
通过针阀通入氩气,能实现更好的等离子 涂层 |
靶材
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外形尺寸 |
L360mm x W300mm x H380mm |
重量 |
50 kg |
质保期和质量认证 |
一年质保期,终身维护
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