沈阳科晶 GSL-1100X-SPC-16型 单靶等离子溅射仪
仪器概述：
GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。
主要技术特点：
1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得良好的镀膜效果。
3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
6、已通过CE认证。
主要技术参数：
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产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪 |
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安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：不需要 |
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技术参数 |
1、电源：220V 2、总功率：<2000W（包括真空泵） 3、真空室：Ø160mm×120mm 4、样品台：Ø50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、均匀镀膜：Ø45mm |
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产品规格 |
1、尺寸：400mm×300mm×400mm 2、重量：30kg |
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标准配件 |
1 |
金靶材 |
1个 |
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2 |
进气针阀 |
1个 |
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3 |
保险丝 |
2个 |
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可选配件 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
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