设备介绍
离子减薄仪(Precision Ion Polishing System ),为整套TEM样品制备的道工序,经氩离子减薄的样品可在TEM 下直接观察,入射角可以从10°至-10°,制样速度快,能够以最小的耗费制备出高质量的TEM样品;仪器操作方便快捷;配备了低能量离子枪功能,尤其适合对能量敏感性样品的减薄。
仪器型号
美国 GATAN Gatan691
技术参数
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光束直径 5keV 下350μm
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离子电流密度 10mA/cm2
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样品尺寸 3mm或2.3mm
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减薄角度 +10° 到 -10°
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离子束能量 100eV 到6.0 KeV
案例展示
应用范围
离子减薄仪(Precision Ion Polishing System ),主要用于陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜样品的制备。