SPI Module ™ 离子溅射仪/喷碳仪

应用于扫描电子显微镜（SEM)样品喷镀的离子溅射仪/喷碳仪与普通电源、真空控制基座组成一个有机的整体

· 溅射仪（喷金仪）和喷碳仪合二为一，提高了整机的性价比！

· 操作便利的长形工作台有效地节省了空间。

· 方便地升级到更高的性能。

· 贵金属低温溅射镀膜——提高的阴极设计。

· 快速镀膜时，20秒内，金厚度可达到200A，——对敏感样品无热损耗。

· 样品室：高5"(127mm) x 外径4"(102mm)。

· 各种形状、尺寸的样品都能均匀镀膜，无需膜厚测控仪。

· 安全联动装置——确保真空时才具有高电压。

· 连续可动的样品台——轻易地调节样品和阴极间的距离。

· 经济的运作——金属低消耗。

· 高机动性——紧凑的设计使之能方便地易地移动。

· 指状排气真空控制——高质量的针阀。

· 背面设计的惰性气体进出口。

· 标准的水冷样品台。

· 快速设置的阴极装置——的产量和最短的样品转换时间。

· 模块化的溅射镀膜机可增加镀碳模块，提高了整机的性价比，整个系统成本大大降低。

· 一年保质期。