简介
Leica EM RES102 通过离子枪激发获得离子束，以一定入射角度对样品进行轰击，以去除样品表面原子，从而实现对样品的离子束加工。Leica EM RES102主要功能为：对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从而适宜TEM透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。
主要技术优势：
操作简便
● 19“触摸屏电脑控制单元，监控并记录制样过程
● 内置应用参数库
● 程序化制样参数设定，加速初学者学习曲线
● 帮助文件帮助初学者以及对设备进行维护
高效/节约成本
● TEM，SEM和LM应用功能集于一体
● TEM样品制备获得的薄区大，有效提高了TEM样品制备效率
● SEM样品制备可达25mm样品直径
● 预抽室系统帮助快速交换样品，减少等待时间，并保证了样品室的持续高真空
● 局域网功能方便远程操控
● LN2样品台使得温度敏感型样品可在优化条件下进行离子研磨
安全
● 精确的自动终止功能，适用于光学终止或透明样品的法拉第杯终止
● 在制样过程中可以时时存储活图像或视频
● 离子源和样品运动马达驱动，程序化控制，因而可获得重复性制样结果
主要技术参数：
● 具有2把离子枪，离子束能量为0.8keV-10keV，相对位置，可分别±45°倾斜，样品台倾斜角度-120°至 210°，离子束加工角度0°至90°，样品平面摆动角度<360°，垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择（系统备有参考参数，也可自行设置参数并存储）
● 可选配样品台：TEM样品台（φ3.0mm或φ2.3mm），FIB样品清洗台，SEM样品台，斜坡切割样品台（对样品35°或90°斜坡切割）等
● SEM样品台可容纳样品尺寸：直径25mm，高度12mm
● 全无油真空系统，样品室带有预抽室，保证样品交换时间<1分钟
● 全电脑控制，触摸屏操作界面，内置视频观察系统，可实时观察样品处理过程
