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小型离子溅射仪

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小型离子溅射仪 产品详情

BJJ-16型离子溅射仪外观亮丽做工精致,旋钮式定时器档位清晰,手感舒适;特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大气,具有欧洲典雅风范;前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体;调节溅射电流大小,成膜速度快,质量好;功能控制和定时皆由 CPU 调度,使用范围广。

  离子溅射仪:配有喷金附件(金靶纯度达到99.99%以上);

样品仓大小: 直径 120mm±10%,高度 120mm±10%;

靶材尺寸: 金靶直径 57mm,厚度 0.1mm;

样品座: 可容纳 12个样品,高度 50mm 内可调;

溅射控制: 数字化程序控制,高安全性,电流可调, 40mA;

溅射靶头: 低电压平面磁电管控制,可以快速更换靶材;

仪表显示:真空度 0.001mb,电流 0-50mA;

膜厚控制器: 用户可自行定制镀膜厚度:0.0-999.9nm;分辨率:0.1nm; 密度范围:0.50-30.00gm/cm-3;

机械泵: 二级直接驱动型高速机械泵,真空抽至0.1mb 所需时间为 25-30 秒。


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