电子探针显微分析仪

电子探针显微分析仪 EPMA-8050G

电子探针 显微分析原理及其发展的初期是建立在X射线光谱分析和电子 显微镜 这两种技术基础上的，该仪器实质上就是这两种仪器的科学组合。电子探针是运用电子所形成的探测针（细电子束）作为X射线的激发源来进行显微X射线光谱分析的仪器。分析对象是固体物质表面细小颗粒或微小区域，范围直径为1μm。电子探针可测量的化学成分的元素范围一般从原子序数12（Mg）至92（U），原子序数大于22的元素可在空气通路的X射线光谱仪上进行测量。电子探针的灵敏度低于 X射线荧光光谱仪 ，原因是电子探针X射线的本底值高于后者，但电子探针的感量比其他仪器都高。此外，后期生产的仪器，可作X射线背散射照相、透视照相。能兼作透射电镜、能进行电子衍射、能作电子荧光观察等。

从SEN哩病条件到1aA是后。在各种束流睾作下都拥有卓雌空问分臆丰的实题哂发射电子光学系接。

主要应用领域:地质矿产、钢铁有色-催化到、半导体、生物材料。