电子探针X射线显微分析仪
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仪器名称：电子探针X射线显微分析仪 型 号：EPMA-1600 生产厂家：日本岛津公司 仪器简介： 日本岛津公司 的EPMA－1600型电子探针，由四道谱仪、八块分光晶体组成。此仪器不仅有较高的X射线检出角，同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体，能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率，并配有高稳定的电子光学系统，真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪，是目前的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。 仪器主要特点及技术指标： l 分析元素范围： 4Be～94Pu l 电子束流稳定性：好于1.5×10-3/H l 二次电子像分辨率：6nm l 加速电压：0~30kV l X 射线检出角 ： 52.5 ° l 放大倍数：50×～300,000× l 分析速度：自动全元素定性分析时间 ≤ 60s
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样品尺寸
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l 样品台最小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高 l 可观察二次电子像（SEI)，背散射电子像(BEI)，吸收电子像，光学显微像，X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察 仪器主要功能及其用途： l 非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析） l 微米尺度的空间分辨分析 l 轻元素的定量分析 l 元素的面分布分析 l 痕量元素的成分分析
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精细结构分析
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适用于材料(陶瓷，合金，半导体材料等）以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析，微区化学组成线分析，微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等，是对试样微区组织结构，表面形貌观察及元素定量分析的效手段。
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