一,机器用途
KJ 型镜片扩张机被广泛应用与发光二极管,中小型功率三极管,集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。
二,机器特点:
① 采用双气缸上下控制;
② 恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;
③ 加热,拉伸,扩晶,固膜一次完成;
④ 加热温度,扩张时间,回程速度均匀可调;
⑤ 操作简便,单班产量大;
⑥ 机器外型见实物。
三,技术参数:
品名规格 |
外形尺寸 |
扩张面积 |
净重 |
KJ-04 |
270x220x820mm |
4 寸扩晶环 |
19 |
KJ-06 |
270x220x820mm |
6 寸扩晶环 |
20 |
KJ-07 |
350x300x1200mm |
7 寸扩晶环 |
30 |
KJ-08 |
350x320x1200mm |
8 寸扩晶环 |
32 |
KJ-9.5 |
400x350x1300mm |
9.5 寸扩晶环 |
36 |
KJ-10 |
400x350x1300mm |
10 寸扩晶环 |
38 |
1 ,电源电压: 220VAC ( 50Hz) 士 10%
2 ,工作气压: 4Kg/cm2
3 ,温度范围:室温 ~100 ℃
4 ,上气缸行程: 200/250/300mm
5 ,下气缸行程: 75mm (可双向调节)
四,操作步骤:
1 ,插上电源,气管快速接头接上高压气管,上气缸自动回升至顶端;
2 ,打开电源开关,将温度设定于 60 ℃ (不同晶片膜温差异士 5 ℃ );
3 ,按“下气缸下降”按钮,使下托盘回至下方,反复几次下气缸动作,将上升与下降速度调整至适合速度。(设备背面有两个旋钮可以调整下托盘的上升及下降速度)
4 ,松开红柄锁扣,向左掀起上工件板,先将扩晶环内环放于下托盘上,再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正*,晶片朝上,将上工件板盖上,锁紧红柄锁扣。
5 ,按下“下气缸上升”开关,下托盘徐徐上升,薄膜开始向四周扩散,晶粒间隔逐渐拉大,当晶片间隔扩散至原来的 2~3 倍或要求大小时既停止操作,将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。
6 ,按下“上气缸下降”按钮,上压盘下降,将扩散后的翻晶膜套紧定位,松开按钮上压盘回*方。
7 ,按下“下气缸下降”按钮,下托盘下降至下方,掀起上工件板取出扩晶完毕的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序备背胶固晶。
五,维护保养:
1 ,用干净布块擦拭附着灰尘,活动部位定期涂少许机油润滑;
2 ,放置翻晶膜的位置必须干净,附着的油脂及灰尘会污染晶片,造成不良品产生。
六,注意事项:
1 ,气缸工作时切勿将手接近或放入压合面;
2 ,下压模表面切勿用锐器敲击,磨擦,以免形成伤痕;
3 ,机器安装时,应正确可靠接地;
4 ,机箱内电源危险,箱门应锁紧;
5 ,更换加热管或其它电器元件时,需在电源插头拔下时方可进行;
6 ,切勿用带水或溶剂的抹布擦拭机器,以免产生漏电或燃烧危险。
七,售后服务:
产品保修半年,终身维护。
LED晶圆芯片拉伸扩张机扩晶机
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