| IXION 193 SLM激光器 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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I XION 193 SLM系统是一种 单频全 固态激光器 ， 用于光学计量、193nm步进光学校准或高功率ArF*的带宽控制。 其 小于80MHz的频谱带宽接近其理论傅里叶极限。 该激光器的中心波长可在 185至194 n m范围内定制，并可在购买时预先配置为固定波长。 作为高精度光谱仪的一种选择，系统具有 0.001 nm光谱精度。这可以大限度地控制激光的光谱调谐。
特点：
● TEM00光束
● 二极管泵浦
● Q开关全固态激光器
● 单频波长193.368nm
应用： ○ 光谱校准 ○ 光刻 ○ 干涉度量 ○ 1 93n m计量 ○ 半导体检测 ○ 准分子的种子源
可选项： ○ 图形化用户界面 ○ La bview 数据库 ○ 精确的光谱仪 ○ 中心波长：1 85 - 194nm ○ CDRH规格快门
产品参数：
所有数据均在重复频率为6 kHz下测得
波长稳定性&光斑轮廓
光谱特性&功率稳定性
激光头尺寸
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